XPS and XPS valence band characterizations of amorphous or polymeric silicon based thin films prepared by PACVD from organosilicon monomers - Université de Montpellier Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal de Physique IV Proceedings Année : 1999

XPS and XPS valence band characterizations of amorphous or polymeric silicon based thin films prepared by PACVD from organosilicon monomers

R. Berjoan
  • Fonction : Auteur
Institut De Science Et De Génie Des Matériaux Et Procédés
E. Biche
  • Fonction : Auteur
D. Perarnau
  • Fonction : Auteur
S. Roualdes
Institut Européen des membranes
CV
J. Durand
  • Fonction : Auteur
Institut Européen des membranes

Domaines

Chimie

Philippe FALQUE  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.umontpellier.fr/hal-01737492

Soumis le : lundi 19 mars 2018-15:08:29

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

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Dates et versions

hal-01737492 , version 1 (19-03-2018)

Identifiants

Citer

R. Berjoan, E. Biche, D. Perarnau, S. Roualdes, J. Durand. XPS and XPS valence band characterizations of amorphous or polymeric silicon based thin films prepared by PACVD from organosilicon monomers. Journal de Physique IV Proceedings, 1999, 09 (PR8), pp.Pr8-1059 - Pr8-1068. ⟨10.1051/jp4:19998132⟩. ⟨hal-01737492⟩

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