XPS and XPS valence band characterizations of amorphous or polymeric silicon based thin films prepared by PACVD from organosilicon monomers - Université de Montpellier
Article Dans Une Revue Journal de Physique IV Proceedings Année : 1999

XPS and XPS valence band characterizations of amorphous or polymeric silicon based thin films prepared by PACVD from organosilicon monomers

R. Berjoan
  • Fonction : Auteur
Institut De Science Et De Génie Des Matériaux Et Procédés
E. Biche
  • Fonction : Auteur
D. Perarnau
  • Fonction : Auteur
S. Roualdes
Institut Européen des membranes
CV
J. Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1104751
Institut Européen des membranes

Domaines

Chimie

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https://hal.umontpellier.fr/hal-01737492

Soumis le : lundi 19 mars 2018-15:08:29

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Dates et versions

hal-01737492 , version 1 (19-03-2018)

Identifiants

Citer

R. Berjoan, E. Biche, D. Perarnau, S. Roualdes, J. Durand. XPS and XPS valence band characterizations of amorphous or polymeric silicon based thin films prepared by PACVD from organosilicon monomers. Journal de Physique IV Proceedings, 1999, 09 (PR8), pp.Pr8-1059 - Pr8-1068. ⟨10.1051/jp4:19998132⟩. ⟨hal-01737492⟩

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