AES and HRTEM study of an a-SiNx: H/W/WSix/a-SiNx: H multilayer structure realized by PEVCD - Université de Montpellier
Article Dans Une Revue Surface and Interface Analysis Année : 1994

AES and HRTEM study of an a-SiNx: H/W/WSix/a-SiNx: H multilayer structure realized by PEVCD

C. Monteil
  • Fonction : Auteur
J. Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1104751
Institut Européen des membranes
R. Berjoan
  • Fonction : Auteur
Institut De Science Et De Génie Des Matériaux Et Procédés
B. Cros
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de physique des gaz et des plasmas
J. Martinez
  • Fonction : Auteur
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https://hal.umontpellier.fr/hal-01737457

Soumis le : lundi 19 mars 2018-14:55:04

Dernière modification le : lundi 17 juin 2024-09:09:41

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hal-01737457 , version 1 (19-03-2018)

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Citer

C. Monteil, J. Durand, R. Berjoan, B. Cros, J. Martinez. AES and HRTEM study of an a-SiNx: H/W/WSix/a-SiNx: H multilayer structure realized by PEVCD. Surface and Interface Analysis, 1994, 21 (12), pp.823 - 829. ⟨10.1002/sia.740211202⟩. ⟨hal-01737457⟩

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