Article Dans Une Revue
Surface and Interface Analysis
Année : 1994
Philippe FALQUE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.umontpellier.fr/hal-01737457
Soumis le : lundi 19 mars 2018-14:55:04
Dernière modification le : lundi 17 juin 2024-09:09:41
Citer
C. Monteil, J. Durand, R. Berjoan, B. Cros, J. Martinez. AES and HRTEM study of an a-SiNx: H/W/WSix/a-SiNx: H multilayer structure realized by PEVCD. Surface and Interface Analysis, 1994, 21 (12), pp.823 - 829. ⟨10.1002/sia.740211202⟩. ⟨hal-01737457⟩
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