AES and HRTEM study of an a-SiNx: H/W/WSix/a-SiNx: H multilayer structure realized by PEVCD - Université de Montpellier
Article Dans Une Revue Surface and Interface Analysis Année : 1994

AES and HRTEM study of an a-SiNx: H/W/WSix/a-SiNx: H multilayer structure realized by PEVCD

C. Monteil
  • Fonction : Auteur
J. Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1104751
Institut Européen des membranes
R. Berjoan
  • Fonction : Auteur
Institut De Science Et De Génie Des Matériaux Et Procédés
B. Cros
  • Fonction : Auteur
Laboratoire de physique des gaz et des plasmas
J. Martinez
  • Fonction : Auteur
Services généraux

Domaines

Chimie

Philippe FALQUE  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.umontpellier.fr/hal-01737457

Soumis le : lundi 19 mars 2018-14:55:04

Dernière modification le : vendredi 18 octobre 2024-13:44:16

Consulter sur la plateforme ISTEX

Dates et versions

hal-01737457 , version 1 (19-03-2018)

Identifiants

Citer

C. Monteil, J. Durand, R. Berjoan, B. Cros, J. Martinez. AES and HRTEM study of an a-SiNx: H/W/WSix/a-SiNx: H multilayer structure realized by PEVCD. Surface and Interface Analysis, 1994, 21 (12), pp.823 - 829. ⟨10.1002/sia.740211202⟩. ⟨hal-01737457⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

CNRS UNIV-PERP IRSTEA IEM PROMES UNIV-PARIS-SACLAY CHIMIE UNIV-MONTPELLIER INRAE UMR8578 GS-PHYSIQUE
105 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

More