AES and HRTEM study of an a-SiNx: H/W/WSix/a-SiNx: H multilayer structure realized by PEVCD - Université de Montpellier Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Surface and Interface Analysis Année : 1994

AES and HRTEM study of an a-SiNx: H/W/WSix/a-SiNx: H multilayer structure realized by PEVCD

Domaines

Chimie

Dates et versions

hal-01737457 , version 1 (19-03-2018)

Identifiants

Citer

C. Monteil, J. Durand, R. Berjoan, B. Cros, J. Martinez. AES and HRTEM study of an a-SiNx: H/W/WSix/a-SiNx: H multilayer structure realized by PEVCD. Surface and Interface Analysis, 1994, 21 (12), pp.823 - 829. ⟨10.1002/sia.740211202⟩. ⟨hal-01737457⟩
97 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More