39.Smaller is Softer: Tuning hardness and adhesion of transparent conductive oxide nanolaminates beyond their constituents: Low Temperature ALD of Al2O3/ZnO - Université de Montpellier
Communication Dans Un Congrès Année : 2012

39.Smaller is Softer: Tuning hardness and adhesion of transparent conductive oxide nanolaminates beyond their constituents: Low Temperature ALD of Al2O3/ZnO

Ivo Utke
  • Fonction : Auteur
Rejin Raghavan
  • Fonction : Auteur
Mikhael Bechelany
Institut Européen des membranes
Damian Frey
  • Fonction : Auteur
André Beyer
  • Fonction : Auteur
Michler Johann
  • Fonction : Auteur
Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology [Thun]

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Identifiants

  • HAL Id : hal-01704578 , version 1

Citer

Ivo Utke, Rejin Raghavan, Mikhael Bechelany, Damian Frey, André Beyer, et al.. 39.Smaller is Softer: Tuning hardness and adhesion of transparent conductive oxide nanolaminates beyond their constituents: Low Temperature ALD of Al2O3/ZnO. ALD 2012 & BALD 2012, Jun 2012, Dresde, Germany. ⟨hal-01704578⟩

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