New Silicon Architectures by Gold-Assisted Chemical Etching

Mikhael Bechelany; Berodier Elise; Maeder Xavier; Schmitt Sebastian; Michler Johann; Philippe Laetitia

doi:10.1021/am200948p

Article Dans Une Revue ACS Applied Materials & Interfaces Année : 2011

New Silicon Architectures by Gold-Assisted Chemical Etching

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1

Mikhael Bechelany

Fonction : Auteur
PersonId : 183852
IdHAL : mikhael-bechelany
ORCID : 0000-0002-2913-2846
IdRef : 115336095

Institut Européen des membranes

Berodier Elise

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Maeder Xavier

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Schmitt Sebastian

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Michler Johann

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Philippe Laetitia

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https://hal.umontpellier.fr/hal-01696090

Soumis le : mardi 30 janvier 2018-09:52:28

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

Dates et versions

hal-01696090 , version 1 (30-01-2018)

Identifiants

HAL Id : hal-01696090 , version 1
DOI : 10.1021/am200948p

Citer

Mikhael Bechelany, Berodier Elise, Maeder Xavier, Schmitt Sebastian, Michler Johann, et al.. New Silicon Architectures by Gold-Assisted Chemical Etching. ACS Applied Materials & Interfaces, 2011, 3 (10), pp.3866 - 3873. ⟨10.1021/am200948p⟩. ⟨hal-01696090⟩

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