New Silicon Architectures by Gold-Assisted Chemical Etching - Université de Montpellier
Article Dans Une Revue ACS Applied Materials & Interfaces Année : 2011

New Silicon Architectures by Gold-Assisted Chemical Etching

Mikhael Bechelany
Institut Européen des membranes
Berodier Elise
  • Fonction : Auteur
Maeder Xavier
  • Fonction : Auteur
Schmitt Sebastian
  • Fonction : Auteur
Michler Johann
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Philippe Laetitia
  • Fonction : Auteur

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Identifiants

Citer

Mikhael Bechelany, Berodier Elise, Maeder Xavier, Schmitt Sebastian, Michler Johann, et al.. New Silicon Architectures by Gold-Assisted Chemical Etching. ACS Applied Materials & Interfaces, 2011, 3 (10), pp.3866 - 3873. ⟨10.1021/am200948p⟩. ⟨hal-01696090⟩

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