Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD”
Esko Ahvenniemi
,
Andrew R. Akbashev
,
Saima Ali
,
Mikhael Bechelany
(1)
,
Maria Berdova
,
Stefan Boyadjiev
,
David C. Cameron
,
Rong Chen
(2)
,
Mikhail Chubarov
(3)
,
Veronique Cremers
,
Anjana Devi
,
Viktor Drozd
,
Liliya Elnikova
,
Gloria Gottardi
,
Kestutis Grigoras
,
Dennis M. Hausmann
,
Cheol Seong Hwang
,
Shih-Hui Jen
,
Tanja Kallio
,
Jaana Kanervo
,
Ivan Khmelnitskiy
,
Do Han Kim
,
Lev Klibanov
,
Yury Koshtyal
,
A. Outi I. Krause
,
Jakob Kuhs
,
Irina Kärkkänen
,
Marja-Leena Kääriäinen
,
Tommi Kääriäinen
,
Luca Lamagna
,
Adam A. Łapicki
,
Markku Leskelä
,
Harri Lipsanen
,
Jussi Lyytinen
,
Anatoly Malkov
,
Anatoly Malygin
,
Abdelkader Mennad
,
Christian Militzer
,
Jyrki Molarius
,
Małgorzata Norek
,
Çağla Özgit-Akgün
,
Mikhail Panov
,
Henrik Pedersen
(4)
,
Fabien Piallat
(5)
,
Georgi Popov
(6)
,
Riikka L. Puurunen
,
Geert Rampelberg
,
Robin H. A. Ras
,
Erwan Rauwel
,
Fred Roozeboom
,
Timo Sajavaara
,
Hossein Salami
,
Hele Savin
,
Nathanaelle Schneider
,
Thomas E. Seidel
,
Jonas Sundqvist
,
Dmitry B. Suyatin
,
Tobias Törndahl
,
J. Ruud van Ommen
,
Claudia Wiemer
(7)
,
Oili M. E. Ylivaara
,
Oksana Yurkevich
1
IEM -
Institut Européen des membranes
2 University hospital of Zurich [Zurich]
3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
4 Functional Imaging Unit Glostrup Hospital
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
6 LMJL - Laboratoire de Mathématiques Jean Leray
7 IMM - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi [Catania]
2 University hospital of Zurich [Zurich]
3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés
4 Functional Imaging Unit Glostrup Hospital
5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
6 LMJL - Laboratoire de Mathématiques Jean Leray
7 IMM - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi [Catania]
Esko Ahvenniemi
- Fonction : Auteur
Andrew R. Akbashev
- Fonction : Auteur
Saima Ali
- Fonction : Auteur
Mikhael Bechelany
- Fonction : Auteur
- PersonId : 183852
- IdHAL : mikhael-bechelany
- ORCID : 0000-0002-2913-2846
- IdRef : 115336095
Maria Berdova
- Fonction : Auteur
Stefan Boyadjiev
- Fonction : Auteur
David C. Cameron
- Fonction : Auteur
Veronique Cremers
- Fonction : Auteur
Anjana Devi
- Fonction : Auteur
Viktor Drozd
- Fonction : Auteur
Liliya Elnikova
- Fonction : Auteur
Gloria Gottardi
- Fonction : Auteur
Kestutis Grigoras
- Fonction : Auteur
Dennis M. Hausmann
- Fonction : Auteur
Cheol Seong Hwang
- Fonction : Auteur
Shih-Hui Jen
- Fonction : Auteur
Tanja Kallio
- Fonction : Auteur
Jaana Kanervo
- Fonction : Auteur
Ivan Khmelnitskiy
- Fonction : Auteur
Do Han Kim
- Fonction : Auteur
Lev Klibanov
- Fonction : Auteur
Yury Koshtyal
- Fonction : Auteur
A. Outi I. Krause
- Fonction : Auteur
Jakob Kuhs
- Fonction : Auteur
Irina Kärkkänen
- Fonction : Auteur
Marja-Leena Kääriäinen
- Fonction : Auteur
Tommi Kääriäinen
- Fonction : Auteur
Luca Lamagna
- Fonction : Auteur
Adam A. Łapicki
- Fonction : Auteur
Markku Leskelä
- Fonction : Auteur
Harri Lipsanen
- Fonction : Auteur
Jussi Lyytinen
- Fonction : Auteur
Anatoly Malkov
- Fonction : Auteur
Anatoly Malygin
- Fonction : Auteur
Abdelkader Mennad
- Fonction : Auteur
Christian Militzer
- Fonction : Auteur
Jyrki Molarius
- Fonction : Auteur
Małgorzata Norek
- Fonction : Auteur
Çağla Özgit-Akgün
- Fonction : Auteur
Mikhail Panov
- Fonction : Auteur
Riikka L. Puurunen
- Fonction : Auteur
Geert Rampelberg
- Fonction : Auteur
Robin H. A. Ras
- Fonction : Auteur
Erwan Rauwel
- Fonction : Auteur
- PersonId : 785532
- ORCID : 0000-0001-8950-1415
Fred Roozeboom
- Fonction : Auteur
Timo Sajavaara
- Fonction : Auteur
Hossein Salami
- Fonction : Auteur
Hele Savin
- Fonction : Auteur
Nathanaelle Schneider
- Fonction : Auteur
- PersonId : 740120
- IdHAL : nathanaelle-schneider
- ORCID : 0000-0001-7749-2400
- IdRef : 146638247
Thomas E. Seidel
- Fonction : Auteur
Jonas Sundqvist
- Fonction : Auteur
Dmitry B. Suyatin
- Fonction : Auteur
Tobias Törndahl
- Fonction : Auteur
J. Ruud van Ommen
- Fonction : Auteur
Oili M. E. Ylivaara
- Fonction : Auteur
Oksana Yurkevich
- Fonction : Auteur
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