Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD” - Université de Montpellier Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science & Technology A Année : 2017

Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD”

Esko Ahvenniemi
  • Fonction : Auteur
Andrew R. Akbashev
  • Fonction : Auteur
Saima Ali
  • Fonction : Auteur
Mikhael Bechelany
Maria Berdova
  • Fonction : Auteur
Stefan Boyadjiev
  • Fonction : Auteur
David C. Cameron
  • Fonction : Auteur
Veronique Cremers
  • Fonction : Auteur
Anjana Devi
  • Fonction : Auteur
Viktor Drozd
  • Fonction : Auteur
Liliya Elnikova
  • Fonction : Auteur
Gloria Gottardi
  • Fonction : Auteur
Kestutis Grigoras
  • Fonction : Auteur
Dennis M. Hausmann
  • Fonction : Auteur
Cheol Seong Hwang
  • Fonction : Auteur
Shih-Hui Jen
  • Fonction : Auteur
Tanja Kallio
  • Fonction : Auteur
Jaana Kanervo
  • Fonction : Auteur
Ivan Khmelnitskiy
  • Fonction : Auteur
Do Han Kim
  • Fonction : Auteur
Lev Klibanov
  • Fonction : Auteur
Yury Koshtyal
  • Fonction : Auteur
A. Outi I. Krause
  • Fonction : Auteur
Jakob Kuhs
  • Fonction : Auteur
Irina Kärkkänen
  • Fonction : Auteur
Marja-Leena Kääriäinen
  • Fonction : Auteur
Tommi Kääriäinen
  • Fonction : Auteur
Luca Lamagna
  • Fonction : Auteur
Adam A. Łapicki
  • Fonction : Auteur
Markku Leskelä
  • Fonction : Auteur
Harri Lipsanen
  • Fonction : Auteur
Jussi Lyytinen
  • Fonction : Auteur
Anatoly Malkov
  • Fonction : Auteur
Anatoly Malygin
  • Fonction : Auteur
Abdelkader Mennad
  • Fonction : Auteur
Christian Militzer
  • Fonction : Auteur
Jyrki Molarius
  • Fonction : Auteur
Małgorzata Norek
  • Fonction : Auteur
Çağla Özgit-Akgün
  • Fonction : Auteur
Mikhail Panov
  • Fonction : Auteur
Georgi Popov
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 828435
Riikka L. Puurunen
  • Fonction : Auteur
Geert Rampelberg
  • Fonction : Auteur
Robin H. A. Ras
  • Fonction : Auteur
Erwan Rauwel
Fred Roozeboom
  • Fonction : Auteur
Timo Sajavaara
  • Fonction : Auteur
Hossein Salami
  • Fonction : Auteur
Hele Savin
  • Fonction : Auteur
Nathanaelle Schneider
Thomas E. Seidel
  • Fonction : Auteur
Jonas Sundqvist
  • Fonction : Auteur
Dmitry B. Suyatin
  • Fonction : Auteur
Tobias Törndahl
  • Fonction : Auteur
J. Ruud van Ommen
  • Fonction : Auteur
Oili M. E. Ylivaara
  • Fonction : Auteur
Oksana Yurkevich
  • Fonction : Auteur

Domaines

Chimie
Fichier principal
Vignette du fichier
1.4971389.pdf (591.66 Ko) Télécharger le fichier
Origine : Fichiers éditeurs autorisés sur une archive ouverte

Dates et versions

hal-01675126 , version 1 (08-06-2021)

Licence

Paternité

Identifiants

Citer

Esko Ahvenniemi, Andrew R. Akbashev, Saima Ali, Mikhael Bechelany, Maria Berdova, et al.. Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD”. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2017, 35 (1), ⟨10.1116/1.4971389⟩. ⟨hal-01675126⟩
388 Consultations
107 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More