Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD”

Esko Ahvenniemi; Andrew R. Akbashev; Saima Ali; Mikhael Bechelany; Maria Berdova; Stefan Boyadjiev; David C. Cameron; Rong Chen; Mikhail Chubarov; Veronique Cremers; Anjana Devi; Viktor Drozd; Liliya Elnikova; Gloria Gottardi; Kestutis Grigoras; Dennis M. Hausmann; Cheol Seong Hwang; Shih-Hui Jen; Tanja Kallio; Jaana Kanervo; Ivan Khmelnitskiy; Do Han Kim; Lev Klibanov; Yury Koshtyal; A. Outi I. Krause; Jakob Kuhs; Irina Kärkkänen; Marja-Leena Kääriäinen; Tommi Kääriäinen; Luca Lamagna; Adam A. Łapicki; Markku Leskelä; Harri Lipsanen; Jussi Lyytinen; Anatoly Malkov; Anatoly Malygin; Abdelkader Mennad; Christian Militzer; Jyrki Molarius; Małgorzata Norek; Çağla Özgit-Akgün; Mikhail Panov; Henrik Pedersen; Fabien Piallat; Georgi Popov; Riikka L. Puurunen; Geert Rampelberg; Robin H. A. Ras; Erwan Rauwel; Fred Roozeboom; Timo Sajavaara; Hossein Salami; Hele Savin; Nathanaelle Schneider; Thomas E. Seidel; Jonas Sundqvist; Dmitry B. Suyatin; Tobias Törndahl; J. Ruud van Ommen; Claudia Wiemer; Oili M. E. Ylivaara; Oksana Yurkevich

doi:10.1116/1.4971389

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Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD”

Esko Ahvenniemi Andrew R. Akbashev Saima Ali Mikhael Bechelany ¹ Maria Berdova Stefan Boyadjiev David C. Cameron Rong Chen ² Mikhail Chubarov ³ Veronique Cremers Anjana Devi Viktor Drozd Liliya Elnikova Gloria Gottardi Kestutis Grigoras Dennis M. Hausmann Cheol Seong Hwang Shih-Hui Jen Tanja Kallio Jaana Kanervo Ivan Khmelnitskiy Do Han Kim Lev Klibanov Yury Koshtyal A. Outi I. Krause Jakob Kuhs Irina Kärkkänen Marja-Leena Kääriäinen Tommi Kääriäinen Luca Lamagna Adam A. Łapicki Markku Leskelä Harri Lipsanen Jussi Lyytinen Anatoly Malkov Anatoly Malygin Abdelkader Mennad Christian Militzer Jyrki Molarius Małgorzata Norek Çağla Özgit-Akgün Mikhail Panov Henrik Pedersen ⁴ Fabien Piallat ⁵ Georgi Popov ⁶ Riikka L. Puurunen Geert Rampelberg Robin H. A. Ras Erwan Rauwel Fred Roozeboom Timo Sajavaara Hossein Salami Hele Savin Nathanaelle Schneider Thomas E. Seidel Jonas Sundqvist Dmitry B. Suyatin Tobias Törndahl J. Ruud van Ommen Claudia Wiemer ⁷ Oili M. E. Ylivaara Oksana Yurkevich

1 IEM - Institut Européen des membranes

2 University hospital of Zurich [Zurich]

3 SIMaP - Science et Ingénierie des Matériaux et Procédés

4 Functional Imaging Unit Glostrup Hospital

5 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

6 LMJL - Laboratoire de Mathématiques Jean Leray

7 IMM - Istituto per la Microelettronica e Microsistemi [Catania]

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Domaine :

Chimie

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https://hal.umontpellier.fr/hal-01675126
Contributeur : Philippe Falque <>
Soumis le : jeudi 4 janvier 2018 - 10:11:26
Dernière modification le : mercredi 9 décembre 2020 - 12:00:02

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