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Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD”

Type de document :
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Liste complète des métadonnées

https://hal.umontpellier.fr/hal-01675126
Contributeur : Philippe Falque <>
Soumis le : jeudi 4 janvier 2018 - 10:11:26
Dernière modification le : mercredi 9 décembre 2020 - 12:00:02

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Citation

Esko Ahvenniemi, Andrew R. Akbashev, Saima Ali, Mikhael Bechelany, Maria Berdova, et al.. Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD”. Journal of Vacuum Science and Technology A, American Vacuum Society, 2017, 35 (1), ⟨10.1116/1.4971389⟩. ⟨hal-01675126⟩

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