Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD” - Université de Montpellier Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science & Technology A Année : 2017

Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD”

Esko Ahvenniemi
  • Fonction : Auteur
Andrew R. Akbashev
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Saima Ali
  • Fonction : Auteur
Mikhael Bechelany
Maria Berdova
  • Fonction : Auteur
Stefan Boyadjiev
  • Fonction : Auteur
David C. Cameron
  • Fonction : Auteur
Veronique Cremers
  • Fonction : Auteur
Anjana Devi
  • Fonction : Auteur
Viktor Drozd
  • Fonction : Auteur
Liliya Elnikova
  • Fonction : Auteur
Gloria Gottardi
  • Fonction : Auteur
Kestutis Grigoras
  • Fonction : Auteur
Dennis M. Hausmann
  • Fonction : Auteur
Cheol Seong Hwang
  • Fonction : Auteur
Shih-Hui Jen
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Tanja Kallio
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Jaana Kanervo
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Ivan Khmelnitskiy
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Do Han Kim
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Lev Klibanov
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Yury Koshtyal
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A. Outi I. Krause
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Jakob Kuhs
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Irina Kärkkänen
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Marja-Leena Kääriäinen
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Tommi Kääriäinen
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Luca Lamagna
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Adam A. Łapicki
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Markku Leskelä
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Harri Lipsanen
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Jussi Lyytinen
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Anatoly Malkov
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Anatoly Malygin
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Abdelkader Mennad
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Christian Militzer
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Jyrki Molarius
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Małgorzata Norek
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Çağla Özgit-Akgün
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Mikhail Panov
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Georgi Popov
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Riikka L. Puurunen
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Geert Rampelberg
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Robin H. A. Ras
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Erwan Rauwel
Fred Roozeboom
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Timo Sajavaara
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Thomas E. Seidel
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Tobias Törndahl
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Esko Ahvenniemi, Andrew R. Akbashev, Saima Ali, Mikhael Bechelany, Maria Berdova, et al.. Review Article: Recommended reading list of early publications on atomic layer deposition—Outcome of the “Virtual Project on the History of ALD”. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2017, 35 (1), ⟨10.1116/1.4971389⟩. ⟨hal-01675126⟩
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