Structure of amorphous hydrogenated carbon films prepared by radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition. An analogy with the structure zone model developed for metals - Université de Montpellier Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2002

Structure of amorphous hydrogenated carbon films prepared by radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition. An analogy with the structure zone model developed for metals

B. Dumay
  • Fonction : Auteur
E. Finot
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne
M. Theobald
  • Fonction : Auteur
O. Legaie
  • Fonction : Auteur
J. Durand
  • Fonction : Auteur
Institut Européen des membranes
P. Baclet
  • Fonction : Auteur
J. Goudonnet
  • Fonction : Auteur

Domaines

Chimie

Philippe FALQUE  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.umontpellier.fr/hal-01726650

Soumis le : jeudi 8 mars 2018-14:49:01

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01726650 , version 1 (08-03-2018)

Identifiants

Citer

B. Dumay, E. Finot, M. Theobald, O. Legaie, J. Durand, et al.. Structure of amorphous hydrogenated carbon films prepared by radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition. An analogy with the structure zone model developed for metals. Journal of Applied Physics, 2002, 92 (11), pp.6572 - 6581. ⟨10.1063/1.1518795⟩. ⟨hal-01726650⟩

Exporter

BibTeX XML-TEI Dublin Core DC Terms EndNote DataCite

Collections

UNIV-BOURGOGNE CNRS IEM ICB CHIMIE UNIV-MONTPELLIER
35 Consultations
0 Téléchargements

Altmetric

Partager

Gmail Facebook X LinkedIn More