Structure of amorphous hydrogenated carbon films prepared by radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition. An analogy with the structure zone model developed for metals - Université de Montpellier Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Applied Physics Année : 2002

Structure of amorphous hydrogenated carbon films prepared by radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition. An analogy with the structure zone model developed for metals

B. Dumay
  • Fonction : Auteur
E. Finot
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Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne
M. Theobald
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O. Legaie
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J. Durand
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Institut Européen des membranes
P. Baclet
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J. Goudonnet
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Citer

B. Dumay, E. Finot, M. Theobald, O. Legaie, J. Durand, et al.. Structure of amorphous hydrogenated carbon films prepared by radio frequency plasma enhanced chemical vapor deposition. An analogy with the structure zone model developed for metals. Journal of Applied Physics, 2002, 92 (11), pp.6572 - 6581. ⟨10.1063/1.1518795⟩. ⟨hal-01726650⟩

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