Atomic force microscopy investigation of a -C:H films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition for inertial confinement fusion experiments - Université de Montpellier
Article Dans Une Revue Journal of Vacuum Science & Technology A Année : 2002

Atomic force microscopy investigation of a -C:H films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition for inertial confinement fusion experiments

B. Dumay
  • Fonction : Auteur
E. Finot
  • Fonction : Auteur
Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne
M. Theobald
  • Fonction : Auteur
O. Legaie
  • Fonction : Auteur
P. Baclet
  • Fonction : Auteur
J. Durand
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 1104751
Institut Européen des membranes
J. Goudonnet
  • Fonction : Auteur

Domaines

Chimie

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Citer

B. Dumay, E. Finot, M. Theobald, O. Legaie, P. Baclet, et al.. Atomic force microscopy investigation of a -C:H films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition for inertial confinement fusion experiments. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2002, 20 (2), pp.366 - 374. ⟨10.1116/1.1446444⟩. ⟨hal-01726643⟩

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