Article Dans Une Revue
Journal of Vacuum Science & Technology A
Année : 2002
Philippe FALQUE : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.umontpellier.fr/hal-01726643
Soumis le : jeudi 8 mars 2018-14:44:55
Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:12
Citer
B. Dumay, E. Finot, M. Theobald, O. Legaie, P. Baclet, et al.. Atomic force microscopy investigation of a -C:H films prepared by plasma enhanced chemical vapor deposition for inertial confinement fusion experiments. Journal of Vacuum Science & Technology A, 2002, 20 (2), pp.366 - 374. ⟨10.1116/1.1446444⟩. ⟨hal-01726643⟩
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