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An insight into the structure–property relationships of PECVD a-SiCxNy:H membranes permselective to hydrogen

Type de document :
Poster
Domaine :
Liste complète des métadonnées

https://hal.umontpellier.fr/hal-01718612
Contributeur : Mélanie Karli Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : mardi 27 février 2018 - 15:18:06
Dernière modification le : lundi 11 octobre 2021 - 13:22:44

Identifiants

  • HAL Id : hal-01718612, version 1

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Citation

V. Rouessac, R. Coustel, M. Haacké, Martin Drobek, Christophe Charmette, et al.. An insight into the structure–property relationships of PECVD a-SiCxNy:H membranes permselective to hydrogen. Balard Conferences 2016, Apr 2016, Montpellier, France. 2016. ⟨hal-01718612⟩

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