Conception de membranes de nitrure de bore par ALD - Université de Montpellier
Communication Dans Un Congrès Année : 2016

Conception de membranes de nitrure de bore par ALD

Sebastien Balme
Mikhael Bechelany

Domaines

Chimie
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01705654 , version 1 (09-02-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01705654 , version 1

Citer

M. Weber, Sebastien Balme, Mikhael Bechelany. Conception de membranes de nitrure de bore par ALD. RAFALD, Nov 2016, Chatou/Paris, France. ⟨hal-01705654⟩
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