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Communication Dans Un Congrès Année : 2010

ALD of transparent conductive oxide and study of their physical properties

Mikhael Bechelany
W. Lebonniec
  • Fonction : Auteur
R. Koodakal
  • Fonction : Auteur
S. Sebastian
  • Fonction : Auteur
Ivo Utke
  • Fonction : Auteur

Domaines

Chimie
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01705295 , version 1 (09-02-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01705295 , version 1

Citer

Mikhael Bechelany, W. Lebonniec, R. Koodakal, S. Sebastian, Ivo Utke, et al.. ALD of transparent conductive oxide and study of their physical properties. Baltic ALD 2010 & GerALD 2, Sep 2010, Hambourg, Germany. ⟨hal-01705295⟩
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