ALD applied to sensors, biosensors and membranes - Université de Montpellier
Chapitre D'ouvrage Année : 2016

ALD applied to sensors, biosensors and membranes

ALD pour des applications capteurs, biocapteurs et membranes

Mikhael Bechelany

Résumé

Performances of sensors, biosensors and membranes as well as their selectivity are dependent of the structuration, morphology and type of the used material. Atomic layer deposition (ALD) appears as a suitable synthesis technique due to its simplicity, reproducibility, the atomic scale precision of the deposited thickness and high homogeneity of the obtained films. This article deals with the use of ALD for fabricating sensors, biosensors and membranes and presents some achievements in sensing and separation. The advantages of the technique compared to common ones are highlighted using few examples taken from the literature.
Les performances des capteurs, biocapteurs et membranes ainsi que leurs sélectivités dépendent de la structuration, de la morphologie et de la nature des matériaux utilisés. La technique de dépôt par couche atomique ou ALD apparaît comme une technique de fabrication de choix du fait de sa simplicité, de sa reproductibilité, de l'homogénéité des dépôts obtenus, même sur des substrats très structurés, ainsi que de la possibilité de contrôle de leur épaisseur au niveau atomique. Cet article présente l'utilisation de l'ALD pour la fabrication de capteurs, biocapteurs et membranes avec les réalisations possibles en termes de détection et de séparation. L'avantage de cette technique par rapport à des approches plus conventionnelles est mise en évidence par quelques exemples choisis dans la littérature.

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Dates et versions

hal-01702135 , version 1 (23-06-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01702135 , version 1

Citer

C. Marichy, Mikhael Bechelany. ALD applied to sensors, biosensors and membranes. Techniques de l’ingénieur, Article / Réf : RE265 v1, 2016. ⟨hal-01702135⟩
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