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Control of pore structure and characterization of plasma-polymerized SiOCH films deposited from octamethylcyclotetrasiloxane (OMCTS)

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https://hal.umontpellier.fr/hal-01696854
Contributeur : Philippe Falque Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : mardi 30 janvier 2018 - 16:27:45
Dernière modification le : lundi 11 octobre 2021 - 13:22:43

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Chia-Hao Lo, Meng-Hsuan Lin, Kuo-Sung Liao, Manuel de Guzman, Hui-An Tsai, et al.. Control of pore structure and characterization of plasma-polymerized SiOCH films deposited from octamethylcyclotetrasiloxane (OMCTS). Journal of Membrane Science, Elsevier, 2010, 365 (1-2), pp.418 - 425. ⟨10.1016/j.memsci.2010.09.042⟩. ⟨hal-01696854⟩

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