Control of pore structure and characterization of plasma-polymerized SiOCH films deposited from octamethylcyclotetrasiloxane (OMCTS) - Université de Montpellier Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Journal of Membrane Science Année : 2010

Control of pore structure and characterization of plasma-polymerized SiOCH films deposited from octamethylcyclotetrasiloxane (OMCTS)

Chia-Hao Lo
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 864057
Institut Européen des membranes
Meng-Hsuan Lin
  • Fonction : Auteur
Kuo-Sung Liao
  • Fonction : Auteur
Manuel de Guzman
  • Fonction : Auteur
Hui-An Tsai
  • Fonction : Auteur
Ta-Chin Wei
  • Fonction : Auteur
V. Rouessac
Institut Européen des membranes
CV
Kueir-Rarn Lee
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Juin-Yih Lai
  • Fonction : Auteur

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hal-01696854 , version 1 (30-01-2018)

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Citer

Chia-Hao Lo, Meng-Hsuan Lin, Kuo-Sung Liao, Manuel de Guzman, Hui-An Tsai, et al.. Control of pore structure and characterization of plasma-polymerized SiOCH films deposited from octamethylcyclotetrasiloxane (OMCTS). Journal of Membrane Science, 2010, 365 (1-2), pp.418 - 425. ⟨10.1016/j.memsci.2010.09.042⟩. ⟨hal-01696854⟩

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