Synthesis and Mechanical Behaviour of Al2O3/ZnO Multilayers Deposited by Atomic Layer Deposition - Université de Montpellier
Communication Dans Un Congrès Année : 2011

Synthesis and Mechanical Behaviour of Al2O3/ZnO Multilayers Deposited by Atomic Layer Deposition

Mikhael Bechelany
Institut Européen des membranes
R. Raghavan
  • Fonction : Auteur
D. Frey
  • Fonction : Auteur
S. Schmitt
J. Whitby
  • Fonction : Auteur
F. Oestlund
  • Fonction : Auteur
Michler Johann
  • Fonction : Auteur
Swiss Federal Laboratories for Materials Science and Technology [Thun]
Ivo Utke
  • Fonction : Auteur

Domaines

Chimie

Philippe FALQUE  : Connectez-vous pour contacter le contributeur

https://hal.umontpellier.fr/hal-01704674

Soumis le : jeudi 8 février 2018-16:05:24

Dernière modification le : lundi 29 juillet 2024-14:44:12

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01704674 , version 1 (08-02-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01704674 , version 1

Citer

Mikhael Bechelany, R. Raghavan, D. Frey, S. Schmitt, J. Whitby, et al.. Synthesis and Mechanical Behaviour of Al2O3/ZnO Multilayers Deposited by Atomic Layer Deposition. EuroCVD 18, Sep 2011, Cork, Ireland. ⟨hal-01704674⟩

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