ALD on 3D Si substrates for optical biosensors applications - Université de Montpellier
Communication Dans Un Congrès Année : 2015

ALD on 3D Si substrates for optical biosensors applications

Sebastien Balme
Mikhael Bechelany

Domaines

Chimie
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01703955 , version 1 (08-02-2018)

Identifiants

  • HAL Id : hal-01703955 , version 1

Citer

V. Fedorenko, Sebastien Balme, Mikhael Bechelany. ALD on 3D Si substrates for optical biosensors applications. Nanoschool, Oct 2015, Vilnius, Lithuania. ⟨hal-01703955⟩
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