Probing the microporosity of low-k organosilica films: MP and t-plot methods applied to ellipsometric porosimetry data - Université de Montpellier Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Microporous and Mesoporous Materials Année : 2015

Probing the microporosity of low-k organosilica films: MP and t-plot methods applied to ellipsometric porosimetry data

Domaines

Chimie
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-01684622 , version 1 (15-01-2018)

Identifiants

Citer

Matthieu J. Lépinay, Lucile Broussous, Christophe Licitra, François Bertin, V. Rouessac, et al.. Probing the microporosity of low-k organosilica films: MP and t-plot methods applied to ellipsometric porosimetry data. Microporous and Mesoporous Materials, 2015, 217, pp.119 - 124. ⟨10.1016/j.micromeso.2015.05.050⟩. ⟨hal-01684622⟩
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