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Probing the microporosity of low-k organosilica films: MP and t-plot methods applied to ellipsometric porosimetry data

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Liste complète des métadonnées

https://hal.umontpellier.fr/hal-01684622
Contributeur : Philippe Falque Connectez-vous pour contacter le contributeur
Soumis le : lundi 15 janvier 2018 - 16:26:27
Dernière modification le : lundi 11 octobre 2021 - 13:23:19

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Matthieu Lépinay, Lucile Broussous, Christophe Licitra, François Bertin, V. Rouessac, et al.. Probing the microporosity of low-k organosilica films: MP and t-plot methods applied to ellipsometric porosimetry data. Microporous and Mesoporous Materials, Elsevier, 2015, 217, pp.119 - 124. ⟨10.1016/j.micromeso.2015.05.050⟩. ⟨hal-01684622⟩

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